SELA系列中的MC10i智能微裂解系統(tǒng)具有在裂解過程中噴射液氮的能力,它是獲取高質(zhì)量、高精度、高通量晶體材料和SEM樣品制備的全新的領(lǐng)先級的解決方案。它配備獨(dú)特的LN2噴涂能力,這項(xiàng)能力可以消除裂解過程中金屬或其他材料產(chǎn)生的延展拉絲現(xiàn)象,來確保截面的最佳質(zhì)量。
MC10i為客戶提供了全面的裂解解決方案,具有SELA先進(jìn)的微切割能力和完美的切割技術(shù)。
MC10i 桌面系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了晶圓片和裸片樣品截面切割的半自動(dòng)化、可靠化和快速化。專用的軟件系統(tǒng)可以完成對目標(biāo)元件的精準(zhǔn)定位和精準(zhǔn)控制,完成裂解的樣品可以直接用于后續(xù)的檢查和分析。
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MC10i 具備LN2噴涂技術(shù)的半自動(dòng)微裂解系統(tǒng)